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纳米微观世界里的大学问--科技公共服务平台开放日第6期

509次阅读2012-08-16
我们苏州人有句老话叫：“螺蛳壳里做道场”。可你知道吗，随着科技的发展，在我们纳米的微观世界里也潜藏着大大的学问。听说纳米加工设备能在头发丝直径范围内加工出上千个微小结构，分析化学物质能够清晰地看到物质的原子，对于失效分析只需要看一眼就能够知道原因。真有这么神奇，带着一丝疑问，8月14日，苏州工业园区中小企业服务中心与中国科学院苏州纳米所纳米测试和纳米加工平台联合发起了以“走进中科纳米所纳米测试和加工平台”为主题的第6期公共平台开放日的活动，“知遥光电”、“光环科技”、“凯晶生物”等多家企业纷纷响应，走进平台来一窥究竟。

活动主要分为两部分，首先由纳米测试平台的徐科老师和张锦平老师向参会的企业介绍了测试平台的几大实验室，并以边参观边介绍的形势，让企业代表们能实时地看到仪器设备的运行情况。据了解，目前纳米测试平台主要包含6个实验室，分别是电镜实验室，结构分析实验室，扫描探针显微镜实验室，光谱实验室，光电性能分析实验室，以及计算中心。而设备的种类也包括了场发射透射电子显微镜、环境扫描电子显微镜、多功能光谱测试分析平台、光电和光伏性能综合分析系统、功能模块齐全的扫描探针显微镜等几十余台大中型先进的测试分析设备，可为纳米材料和结构、纳米器件、生物医药等产业领域提供系统的测试分析服务。自2009年正式运行以来服务所外近800家用户，其中企业用户占总机时的三分之一、所外科研机构占三分之一，电子显微镜等大型仪器平均每天提供服务机时达到12小时，现有设备基本都达到了满负荷运行。

参观完各种电镜后，大家还意犹未尽，转眼便到了我们的另一个参观地——纳米加工平台。因为纳米加工需要超洁净的环境，所以在参观之前我们还穿上了特制的防尘服，连一根头发丝都不能暴露在外面。随后，在平台技术人员的引导和演示下，我们看到了传说“能在头发丝大小上加工出上千个微小结构”的“巧匠”——电子束光刻机（JBX-5500ZA），该光刻机分辨率最高可达10纳米，只有头发直径的四千分之一，从而可以制备很多特征尺度在100纳米以下的量子器件。当然，除了这个“大家伙”，平台里还有许多其他的设备，包括喷胶系统、显影机、等离子去胶、III-V材料刻蚀设备、电子束光学镀膜机等，这些设备在光电子器件、N/MEMS、能源环境、生物芯片等学科领域有着广泛的应用。

“科技公共平台开放日”活动使企业有机会近距离了解园区各大平台，促进了企业与平台之间的交流合作。九月中旬，中心计划组织企业科技情报信息服务平台，如有企业需要报名参加可联系中小企业服务中心王小姐0512-67068038，wangjr@sipac.gov.cn。