苏州有句老话：“螺蛳壳里做道场”,随着科技的发展，纳米技术正让这句话变成现实。听说纳米加工设备能在头发丝直径范围内加工出上千个微小结构，分析化学物质能够清晰地看到物质的原子，对于失效分析只需要看一眼就能够知道原因。真有这么神奇?带着一丝疑问，3月26日，苏州工业园区中小企业服务中心与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米测试平台、纳米加工平台联合发起了以“走进中科纳米所”为主题的公共平台开放日的活动，“胜科纳米”、“中科集成”、“海狸纳米”“等近20家企业纷纷响应，走进平台来一窥究竟。

　　活动首先在测试平台曾老师的介绍中拉开帷幕。目前，测试平台主要包含6个实验室，分别是电镜实验室，结构分析实验室，扫描探针显微镜实验室，光谱实验室，光电性能分析实验室，以及计算中心。设备的种类也包括了场发射透射电子显微镜、环境扫描电子显微镜、多功能光谱测试分析平台、光电和光伏性能综合分析系统、功能模块齐全的扫描探针显微镜等几十余台大中型先进的测试分析设备，可为纳米材料和结构、纳米器件、生物医药等产业领域提供系统的测试分析服务，满足纳米尺度测试以及表面形貌分析的相关需求，2014年的服务机时已超过23202小时。

　　紧接着，纳米平台的另一位曾老师又向大家介绍了纳米平台的情况。据介绍，目前纳米加工平台拥有包括电子束曝光机、六英寸双面对准光刻机、自动金丝焊机、点胶机、LED光色电测试系统、，用于深硅刻蚀的ICP系统，III-V材料刻蚀设备等100余台“重量级”设备，可为相关企业提供器件工艺加工、器件测试、器件封装、失效及可靠性分析、超净环境等服务，2014年的服务机时达到6873小时以上。

　　既然是走进平台，那自然要“眼见为实”了。活动的下半部分，平台的相关人员就带大家参观了纳米测试平台、纳米加工平台。一台台的设备前，大家又是一阵热闹，纷纷抛出各种问题，诸如薄膜的沉积效率、面积，设备的价格，金属材料的衍射分析等，几位平台的老师也分别做了耐心的解答。

　　“科技公共平台开放日”活动使企业有机会近距离了解园区各大平台，促进了企业与平台之间的交流合作。四月中旬，中心还将组织企业前往其他公共平台，如有企业需要报名参加可联系中小企业服务中心王小姐0512-67068036，wangjr@sipac.gov.cn。