各相关企业：

  为推动苏州工业园区纳米技术应用产业高质量发展，鼓励企业研发创新，根据《苏州工业园区关于加快建设世界一流高科技园区的若干政策》（苏园管〔2021〕9号）、《苏州工业园区关于加快推进纳米技术应用产业高质量发展的实施细则》（苏园科〔2021〕56号），现开展2023年度苏州工业园区纳米公共服务平台补贴申报工作。园区纳米公共服务平台开展第三代半导体、MEMS新产品中试工艺开发一次性导入，按导入费的20%，给予每个平台每年最高200万元补贴；园区第三代半导体、MEMS企业使用园区纳米公共服务平台开展研发生产活动，经审核后按材料费、加工费、测试费等必要费用的20%给予补贴，每家企业每年最高补贴200万元。有关事项通知如下：

一、申报对象

  在苏州工业园区登记注册，具备独立法人资格，从事第三代半导体、MEMS等领域的纳米技术产品研发生产，且经济贡献集中体现在园区的企业。

二、申报条件

  1. 园区纳米公共服务平台提供第三代半导体、MEMS新产品中试工艺开发一次性导入等技术服务，原则上需进行技术合同认定登记；

  2. 园区第三代半导体、MEMS企业使用中科院苏州纳米所纳米加工平台、测试分析平台、集成微系统封装平台、纳米真空互联实验站，国家第三代半导体技术创新中心材料生长创新平台、测试分析与服役评价平台，苏州纳米科技发展有限公司MEMS中试量产平台等园区内纳米公共服务平台开展加工、测试等活动。

三、申报材料

  1. 附件1-1为园区纳米公共服务平台中试工艺开发一次性导入补贴申报书，附件1-2为园区第三代半导体、MEMS企业使用园区纳米公共服务平台进行研发生产补贴申报书；

  2. 提供以下材料之一：

  (1) 2022年度园区纳米公共服务平台开展第三代半导体、MEMS新产品中试工艺开发一次性导入相关的合同或订单、项目导入费用清单及支出凭证；

  (2) 2022年度第三代半导体、MEMS企业使用园区纳米公共服务平台开展研发生产活动相关的合同或订单、费用清单及发票；

  3. 申请补贴的纳米公共服务平台或企业的法人营业执照、2022年度审计报告、社保证明等；

  4. 以上材料复印件合并成一个文档，加盖公章。

四、申报流程

  1. 线上申报

  企业登录苏州工业园区企业发展服务中心网站（http://sme.sipac.gov.cn/）——点击登录企业用户——业务征集平台——2023年度苏州工业园区公共服务平台补贴申报——上传申报材料。完成线上申报的截止时间为9月1日，逾期不再受理。

  2. 评审流程

  通过初审的企业，科创委组织会计事务所对企业申报项目费用进行，资金兑现时间另行通知。

五、注意事项

  1. 与研发补助类政策、集成电路流片补贴政策从高不重复享受。

  2. 填报时请注意园区纳米公共服务平台开展中试工艺开发一次性导入和企业使用园区纳米公共服务平台开展研发生产活动，需分别选择附件1和2的补贴申报书。

六、咨询电话

  园区企业发展服务中心：67068000、67068023

  园区科创委：66682197、66681691