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《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施细则(试行)》

苏园科20163号
级别:园区本级状态: 有效
分类:产业扶持政策,纳米产业政策
支持方式:奖励
支持产业:其他
发文单位:苏州工业园区科技发展局

第一条 为进一步推动苏州工业园区微纳电子机械系统(以 下简称 MEMS)产业发展,促进 MEMS 产品快速产业化,落实《园区管委会关于实施创新驱动战略、进一步鼓励科技创新的若 干意见》,特制定本实施细则。
第二条 本细则所涉及的补贴项目是指企业在园区 MEMS中试平台进行 MEMS 新产品芯片的中试研发、流片、和小规模 生产项目。
 
第三条 本细则所涉及的 MEMS 企业应在苏州工业园区注册、具有独立法人资格。企业投产后的研发、生产、经营和纳税 关系应在园区。
第四条  经认定的 MEMS 产品可按以下标准给予一次性导 入补贴:
1、使用金、铂金、钯、钌、银、铟、铯等贵金属的 MEMS 产品,或流片特征尺寸小于 10 微米(含 10 微米)的 MEMS 产 品,补贴比例最高为 50%,单家 MEMS 企业补贴总额每年不超 过 100 万元;
2、流片特征尺寸大于 10 微米的 MEMS 产品,补贴比例最 高为 40%,单家 MEMS 企业补贴总额每年不超过 100 万元;
3、中试平台进行 MEMS 新产品中试工艺能力开发,经论证 可按最高 30%比例给予研发补贴,单个产品研发补贴不超过 30 万元,每个中试平台每年累积享受的补贴金额不超过 120 万元。
4、鼓励具有技术领先性、产业带动性和广阔市场前景的重 大 MEMS 项目落户园区,经评估,优先按《苏州工业园区关于 推进科技领军人才创新创业工程的实施意见》(苏园工[2015]28 号)给予支持。
第五条 MEMS 产品补贴申报流程如下:
1、补贴采用“先用后补”的方式,补贴申请常年受理,按期发放;
2、企业需如实填报项目补贴申请表并加盖公司公章,同时 需提供 MEMS 产品中试服务合同、费用凭证等相关证明材料;
3、审核通过后,按照 MEMS 政策标准发放补贴。
第六条 如发现企 业在申报补贴过 程中存在 弄虚作 假行 为,一经核实,将追回全部补贴款项,列入企业信用黑名单,三 年内不得申请任何科技资金补贴。
第七条 本细则自发布之日起实行,试行期限暂定两年。 本细则由苏州工业园区科技发展局负责解释。

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