政策中心 ＞ 政策产品 ＞ 纳米技术苏州工业园区纳米MEMS专项补贴
申报条件
| 序号 | 申请条件 |
| 1 | 补贴对象指利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统的企业，且企业投产后的研发、生产、经营和纳税关系在园区；企业在纳米所纳米加工平台、集成微系统封装平台、微纳MEMS中试平台等园区内国有公共平台进行MEMS新产品芯片的中试研发、流片、和小规模生产项目。 |
扶持政策
一次性导入补贴
给予在园区内国有公共平台进行MEMS新产品中试工艺开发的，按产品导入费的40%给予补贴，最高补贴20万元，单个平台每年累计享受补贴金额最高100万元。
MEMS产品流片补贴
对使用包括纳米所纳米加工平台、集成微系统封装平台、微纳MEMS中试平台等园区内国有公共平台进行流片的MEMS产品，给予企业按所产生费用的40%给予补贴，每家企业每年补贴总额最高100万元。